Μέθοδος μέτρησης και παρακολούθησης του πάχους ταινιών της σύγχρονης κενής μηχανής επιστρώματος

Η πιο άμεση μέθοδος ελέγχου επιστρώματος είναι η μέθοδος μικροδιαμετάλλευσης κρυστάλλου χαλαζία (QCM), η οποία μπορεί να οδηγήσει άμεσα την πηγή εξάτμισης, και να περικυκλώσει την αμηχανία μέσω του ελέγχου PID για να διατηρήσει το ποσοστό εξάτμισης. Εφ 'όσον το όργανο συνδέεται με το λογισμικό ελέγχου συστημάτων, μπορεί να ελέγξει ολόκληρη τη διαδικασία επιστρώματος. Αλλά η ακρίβεια του (QCM) είναι περιορισμένη, εν μέρει επειδή παρακολουθεί την ποιότητα της επίστρωσης που εναποτίθεται και όχι το οπτικό πάχος της.

Επίσης, ενώ το QCM είναι πολύ σταθερό σε χαμηλότερες θερμοκρασίες, γίνεται πολύ ευαίσθητο στη θερμοκρασία σε υψηλότερες θερμοκρασίες. Κατά τη διάρκεια παρατεταμένης θέρμανσης, είναι δύσκολο να αποφευχθεί η πτώση του αισθητήρα σε αυτή την ευαίσθητη περιοχή, προκαλώντας σημαντικά σφάλματα στην ταινία.

Η οπτική παρακολούθηση είναι η προτιμώμενη μέθοδος παρακολούθησης για επιχρίσματα υψηλής ακρίβειας, επειδή επιτρέπει ακριβέστερο έλεγχο του πάχους του στρώματος (εάν χρησιμοποιείται σωστά). Η βελτίωση της ακρίβειας προέρχεται από πολλούς παράγοντες, αλλά ο πιο θεμελιώδης λόγος είναι η παρακολούθηση του οπτικού πάχους.

Το ΒΈΛΤΙΣΤΟ σύστημα οπτικής παρακολούθησης SWA-I-05 υιοθετεί έμμεση μέτρηση και έλεγχο, σε συνδυασμό με προηγμένο λογισμικό οπτικής παρακολούθησης που αναπτύχθηκε από τον Δρ Wang, για την αποτελεσματική βελτίωση της θεωρίας και της μεθόδου ευαισθησίας οπτικής απόκρισης στις αλλαγές του πάχους του φιλμ για τη μείωση του τελικού σφάλματος, παρέχοντας ανάδραση ή επιλογή μετάδοσης των λειτουργιών και ένα ευρύ φάσμα μήκους κύματος παρακολούθησης. Είναι ιδιαίτερα κατάλληλο για την παρακολούθηση επιστρώματος των διάφορων πάχη ταινιών συμπεριλαμβανομένης της ανώμαλης παρακολούθησης ταινιών.